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MEMS三轴AMR磁力传感器及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113003532 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110191336.0 (22)申请日 2021.02.20 (71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司

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