文档详情

MEMS技术赋能下的单片集成三轴加速度传感器：原理、设计与应用.docx

发布：2025-03-09约6.12万字共50页下载文档

文本预览下载声明

MEMS技术赋能下的单片集成三轴加速度传感器：原理、设计与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）技术，即微机电系统技术，是在微电子技术、集成电路技术及其加工工艺的基础上发展而来的多学科交叉、多技术融合的高科技领域。其起源可追溯至20世纪50年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始对硅传感器展开研究。20世纪70年代末至90年代，汽车行业对安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等的应用需求增长，推动了MEMS行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速度计取得快速发展。1979年，Ro

显示全部

相似文档

三轴加速度传感器.docx 三轴加速度传感器在智能车控制与道路识别中的应用 　　三轴加速度传感器MMA7260Q可以测量智能车惯性大小，选取最佳重心位置，并能准确定位智能车处于直线、弯道、坡道、漂移等运行状态；利用加速度传感器能够提前预测路径，并判断何时刹车效果最佳。并且很好的解决了在直立行走车模的平衡与方向识别。　　由此提出了一种基于三轴加速度传感器在智能车中的控制以及路径识别的设计。该设计采用三轴加速度传感器MMA7260Q测量智能车在运动中的加速度信号，以嵌入式单片MC9S12XSl28B作为核心控制器，对加速度信号进行采样，A／D转换，再将特征数据存储在EEPROM中。很好地解决了智能车运动路径分析的问题以及在
2019-03-15 约3.18千字 12页立即下载
三轴加速度传感器.docx 三轴加速度传感器在智能车控制与道路识别中的应用　三轴加速度传感器MMA7260Q可以测量智能车惯性大小，选取最佳重心位置，并能准确定位智能车处于直线、弯道、坡道、漂移等运行状态；利用加速度传感器能够提前预测路径，并判断何时刹车效果最佳。并且很好的解决了在直立行走车模的平衡与方向识别。　由此提出了一种基于三轴加速度传感器在智能车中的控制以及路径识别的设计。该设计采用三轴加速度传感器MMA7260Q测量智能车在运动中的加速度信号，以嵌入式单片MC9S12XSl28B作为核心控制器，对加速度信号进行采样，A／D转换，再将特征数据存储在EEPROM中。很好地解决了智能车运动路径分析的问题以及在。实时获
2017-02-05 约字 12页立即下载
MEMS加速度传感器的原理与构造..docx 微系统设计与应用加速度传感器的原理与构造班级：2012机自实验班指导教师：xxx小组成员：xxxxx大学机械工程学院二OO五年十一月摘要随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点,而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以及批量生产,因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。其中加速度传感器就是广泛应用的例子之一。加速度传感器的原理随其
2017-01-09 约8.53千字 24页立即下载
MEMS加速度传感器的原理与构造.pdf 微系统设计与应用 加速度传感器的原理与构造班级：2012机自试验班指导老师：XXX 小组成员：XXX XX高校机械工学院二OO五年十一月摘要随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展，各种基于MEMS技术的器件也应运而生，目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、 光开关等等，它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、牢靠性高等特点, 而且因为其加工工艺肯定度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以与批量生产，因而从问世起就引起了广泛关注，并且在汽车、医药、导航和限制、生化分析、工业检测等方面得到了较为快速的应用。其中 加速度传感器就是广泛应用的例子之一。加
2025-06-07 约1.83万字 27页立即下载
三轴加速度传感器设计.docx 中北大学课程设计说明书2013/2014学年第2学期??学院：专业：学生姓名：学号：课程设计题目：三轴加速度传感器设计起迄日期:课程设计地点:指导教师: 专业负责人：???下达任务书日期: 2014年6 月13 日目录1、课程设计目的············································································12、课程设计内容和要求··································································12、1设
2017-04-04 约1.35万字 26页立即下载
MEMS加速度传感器.ppt LOGO LOGO 传感器技术 加速度传感器 MEMS 目录简述加速度传感器 1 电阻式加速度传感器 2 电容式加速度传感器 3 其他类型加速度传感器 4 Group 3 篇前语 MEMS是什么？加速度传感器与MEMS什么关系？微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。 Group 3 概述 加速度传感器 加速度传感器中的分类 加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力
2017-05-23 约4.03千字 26页立即下载
三轴加速度传感器的技术原理与市场前景分析.docx 三轴加速度传感器的技术原理与市场前景分析技术分类：测试与测量|2025-06-17 意法半导体公司模拟、功率与微机电组件产品市场经理郁正德:EDNChina 目前，随着iPod、iPhone、SonyPS3，以及Wii等玩耍和消遣类系列消费类产品的成功和热销，业界普遍推测微机电系统〔MEMS，MicroElectro-MechanicalSystem〕类产品将成为半导体行业的下一个高速增长点。MEMS带来的的操作、功耗，和尺寸上的革命性变革是其成功进入消费类电子市场的关键。其使更具创性的电子产品设计成为可能，而且能给用户带来全的使用体验。以上提到的产品中都应用了加速
2025-05-26 约5.46千字 5页立即下载
基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用资料集.docx 基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用资料集目录一、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用项目申报书二、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用立项申请书三、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用阶段性成果报告四、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用最终成果报告基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用项目申报书一、项目概述随着科技的不断发展，微机电系统（MicroElectroMechanicalSystems，简称MEMS）技术逐渐成为研究热点。MEMS技术以其体积小、成本低、
2025-03-08 约7.15千字 17页立即下载
三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究的开题报告.docx 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究的开题报告一、研究背景随着智能化和物联网的不断发展，传感器技术越来越受到人们的关注和重视。作为最基本的传感器之一，加速度传感器广泛应用于跌倒检测、运动监测、智能手机、车辆安全等领域。目前市场上加速度传感器主要分为单轴加速度传感器和三轴加速度传感器两种。三轴加速度传感器相对于单轴加速度传感器来说，能够提供更加准确的数据，被越来越多的应用于智能穿戴设备和运动监测领域。与此同时，为了满足市场对于集成度越来越高的需求，三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究已成为当前研究的焦点之一。SIP（System-in-Package）是将多个芯片、电路
2024-05-11 约小于1千字 2页立即下载
MMA8451三轴加速度传感器.doc MMA8451三轴加速度传感器，16引脚，QFN封装，数字I2C输出，8位/14位精度可选，量程2g/4g/8g可选，电源供电1.95v~3.6v可选。输出数据速率从1.56到800Hz。有两个可编程的中断引脚，7个中断源。可检测自由落体、运动、脉冲、振动等、倾角等。 32个采样FIFO，每次采样都通过高通滤波后传入FIFO。典型应用有：电子罗盘，静态姿态、运动检测，笔记本电子书等便携设备的翻滚、自由落体检测，实时的方向检测可用于虚拟现实设备或3d游戏中的位置检测，便携设备的节能应用中的运动检测等等。芯片外形不同姿态下X、Y、Z三轴对应的重力输出典型连接引脚定义如下：
2015-09-08 约4.35千字 7页立即下载
一种三轴压电式加速度传感器.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210323080 U (45)授权公告日 2020.04.14 (21)申请号 20192
2023-09-03 约5.71千字 7页立即下载
《基于STM32和MPU6050三轴加速度传感器的的加速度监测系统设计》9400字.docx PAGE2 PAGE2 基于STM32和MPU6050三轴加速度传感器的的加速度监测系统设计内容摘要：在工程振动监测、交通运输加速度监测、机械故障诊断、生物健康系统等监测领域，加速度的测量越来越重要。传统的振动加速度测量系统存在着如下的问题，精度较差、时效性差、功耗高等。针对上述问题，本设计以低功耗STM32F103ZET6作为核心，结合MPU6050三轴加速度传感器设计了一款低功耗、高精度的加速度监测系统，并具体设计了硬件结构电路、进行软件编程、开展了相关实验。通过大量实验表明加速度监测系统输出速率为50Hz，并且加速度测量误差为0.25%左右，在提高监测系统测量精度方面有了极大的改进，能
2025-02-23 约1.37万字 19页立即下载
MEMS加速度传感器解析.ppt LOGO LOGO 传感器技术 加速度传感器 MEMS 目录简述加速度传感器 1 电阻式加速度传感器 2 电容式加速度传感器 3 其他类型加速度传感器 4 Group 3 篇前语 MEMS是什么？加速度传感器与MEMS什么关系？微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。 Group 3 概述 加速度传感器 加速度传感器中的分类 加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力
2017-01-21 约4.03千字 26页立即下载
MEMS加速度传感器的配置方案.docx PAGE 1 PAGE 1 MEMS加速度传感器的配置方案随着苹果iPhone和任天堂Wii嬉戏机的流行，加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如，笔记本中的跌落爱护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、小扣手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等。这些应用转变了传统设备与用户之间的交互方式，使产品有了更好的用户体验。作为这场变革的，意法半导体（ST）的微机械加速度传感器不仅能够输出加速度的数值，同时集成了许多的功能模块，可以实现上述的应用。我们将以LIS35DE和LIS331DLH芯片内部的功能模块作为线索，介绍意法半导体加速度传感器的性能特点，并介绍如何配置传感器的功能模块
2022-06-24 约3.93千字 7页立即下载
MEMS加速度传感器的特点.ppt 深圳市铭之光电子技术有限公司优秀精品课件文档资料 “传感器”就是电子信息时代的五官，借助传感器获得更多真实世界的信息并辅以信息处理系统，就为衍生出各种各样创新应用提供了便利条件，传感器是21世纪电子产品颠覆传统最好的伙伴。在此背景下，许多新兴市场需求涌现，客观上再次促进传感器技术的创新。日前，由中国电子[0.630.00%]科技集团第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术，在国际招标项目中，一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜，
2017-02-16 约字 5页立即下载