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基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用资料集.docx

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基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用资料集

一、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用项目申报书

二、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用立项申请书

三、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用阶段性成果报告

四、基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用最终成果报告

基于MEMS的微型加速度传感器设计及在运动控制中的应用项目申报书

一、项目概述

随着科技的不断发展，微机电系统（MicroElectroMechanicalSystems，简称MEMS）技术逐渐成为研究热点。MEMS技术以其体积小、成本低、

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