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MEMS气体传感器的晶圆级三维封装方法及结构.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114455536 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210118996.0 (22)申请日 2022.02.08 (71)申请人 季优科技(上海)有限公司 地址 2
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