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一种三维集成MEMS声矢量传感器的信号处理方法及装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116465479 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310346685.4 (22)申请日 2023.04.03 (71)申请人 北京大学 地址 100871
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