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大功率半导体器件的制造工艺研究论文
摘要：
本文针对大功率半导体器件的制造工艺进行了深入研究，探讨了其在现代电子技术中的重要性，分析了现有制造工艺的优缺点，并提出了改进方案。通过对材料选择、结构设计、工艺流程等方面的探讨，旨在提高大功率半导体器件的性能和可靠性，为我国半导体产业的发展提供有力支持。
关键词：大功率半导体器件；制造工艺；性能；可靠性；改进方案
一、引言
随着我国电子技术的飞速发展，大功率半导体器件在电力电子、新能源、轨道交通等领域发挥着越来越重要的作用。大功率半导体器件的制造工艺直接影响其性能和可靠性，因此对其进行深入研究具有重要意义。
（一）大功率半导体器件在现代社会的重要性
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