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大功率半导体器件的制造工艺优化论文
摘要：
本文针对大功率半导体器件的制造工艺优化进行了深入研究，分析了当前大功率半导体器件制造工艺中存在的问题，提出了相应的优化策略。通过对材料选择、器件结构设计、工艺参数控制等方面的探讨，旨在提高大功率半导体器件的性能和可靠性，为我国半导体产业的发展提供理论支持和实践指导。
关键词：大功率半导体器件；制造工艺；优化策略；性能；可靠性
一、引言
随着科技的不断进步和能源需求的日益增长，大功率半导体器件在电力电子、新能源汽车、轨道交通等领域得到了广泛应用。然而，大功率半导体器件的制造工艺复杂，对材料、器件结构设计、工艺参数控制等方面要求较高，导致器件性能和可靠性
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