GB/T 30656-2023碳化硅单晶抛光片.pdf
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ICS29.045
CCSH 83
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT30656 2023
代替 / —
GBT30656 2014
碳化硅单晶抛光片
Polishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers
y
2023-03-17发布 2023-10-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT30656 2023
前 言
/ — 《 : 》
本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定
GBT1.1 2020 1
起草。
/ — 《 》, / — ,
本文件代替 GBT30656 2014碳化硅单晶抛光片 与 GBT30656 2014相比 除结构调整和
, :
编辑性改动外 主要技术变化如下
) ( , );
更改了适用范围 见第 章 年版的第 章
a 1 2014 1
) ( , );
更改了术语和定义 见第 章 年版的第 章
b 3 2014 3
) ( );
c 增加了按直径 150.0mm的分类 见 4.2.3
) ( );
增加了直径 碳化硅单晶抛光片的技术要求 见第 章
d 150.0mm 5
) ( );
e 增加了直径 100.0mm半绝缘型碳化硅单晶抛光片的厚度及允许偏差 见 5.2
) ( , );
f 更改了总厚度变化的要求 见 5.22014年版的4.5
)
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