《《溶胶凝胶制备纳米多孔SiO2光学增透薄膜》》.pdf

　第36卷第4/ 5期 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 36 ,No. 4/ 5 　2002年7月 Atomic Energy Science and Technology J uly 2002 溶胶凝胶制备纳米多孔 SiO2 光学增透薄膜 耐磨特性强化研究 吴广明 ,沈 　军 ,王 　珏 ,周 　斌 ,倪星元 ( 同济大学 波耳固体物理研究所,上海　200092) 摘要 :在溶胶凝胶基础上 ,采用碱/ 酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔 SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在 空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、 椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明 :采用碱/ 酸两步催化法能够明显提高纳米多 孔 SiO2 光学增透薄膜的力学特性 ,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等 力学性能增强归因于 SiO2 颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时 ,薄膜折射率仍保持约 124 的较低值 ,光学增透效果良好 ,透射率 ≥995 % 。 关键词 :溶胶凝胶技术 ;增透薄膜 ;纳米多孔结构 ;SiO2 薄膜 中图分类号:O484 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 (2002) 04/ Strengthening Investigation of Antireflective Nanoporous Silica Films Derived by Base/ Acid Twostep Solgel Process and Mixed Atmosphere Treatment WU Guangming , SHEN J un , WAN G J ue , ZHOU Bin , N I Xingyuan ( ) Pohl Institute of Solid S tate Physics , Tongji U niversity , S hanghai 200092 , China Abstract : A new method to improve the mechanical properties of nano porous silica films is reported. The thin films are prepared using the base/ acid twostep catalytic solgel process and the dipcoating method , and then annealed in the mixed gas of ammonia and water vapor. The films are characterized with TEM , AFM , FTIR , spectrophotometer and ellip sometery , respectively. The experimental results show that the twostep catalysis remark ably strengthens the films , and the scratchresista