一种防护性能好的半导体生产加工用液态气储罐.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213840465 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202022630025.3
(22)申请日 2020.11.13
(73)专利权人 无锡恒大电子科技有限公司
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