半导体制造2025年:超精密加工技术在高性能芯片生产中的应用报告.docx
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一、半导体制造2025年:超精密加工技术在高性能芯片生产中的应用报告
1.1技术背景
1.2超精密加工技术概述
1.2.1晶圆加工
1.2.2光刻技术
1.2.3封装技术
1.3超精密加工技术在高性能芯片生产中的应用现状
1.3.13D集成电路制造
1.3.2纳米级芯片制造
1.3.3先进封装技术
1.4超精密加工技术在高性能芯片生产中的发展趋势
2.超精密加工技术在芯片制造中的应用实例与挑战
2.1超精密加工技术在晶圆制造中的应用
2.2超精密加工技术在光刻技术中的应用
2.3超精密加工技术
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