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《电子束蒸发制备光学薄膜》
一、引言
光学薄膜是现代光学技术中不可或缺的组成部分，广泛应用于各种光学仪器和设备中。随着科技的不断发展，对光学薄膜的性能要求也越来越高。电子束蒸发技术作为一种先进的薄膜制备技术，因其具有制备高纯度、高精度、高速度等特点而受到广泛关注。本文旨在介绍电子束蒸发制备光学薄膜的基本原理、技术方法及其在应用中的优点。
二、电子束蒸发技术概述
电子束蒸发技术是一种利用高能电子束对材料进行加热和蒸发的技术。其基本原
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