德国开姆尼茨工业大学微纳测试课件10.pdf

6. Direkte Bestimmung mechanischer Parameter • MEMS werden immer häufiger zu Werkzeugen, um Parameter an anderen MEMS zu bestimmen • Beispielsweise ist es möglich, mit Hilfe von Mikrokraftmessdosen, direkt Steifigkeiten von Federn oder gesamter Mikrostrukturen zu messen [femtotools] [femtotools] [femtotools] TU Chemnitz, Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik Dr.-Ing. Sebastian Voigt - 1 - Prof. Jan Mehner 6. Direkte Bestimmung mechanischer Parameter • Testen der Transducerempfindlichkeit bei piezoresisivem Transducer [femtotools] [femtotool s] [femtotools] TU Chemnitz, Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik Dr.-Ing. Sebastian Voigt - 2 - Prof. Jan Mehner 6. Direkte Bestimmung mechanischer Parameter • Testen der Eigenschaften eines thermischen Aktors [femtotools] [femtotools] TU Chemnitz, Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik Dr.-Ing. Sebastian Voigt - 3 - Prof. Jan Mehner 6. Direkte Bestimmung mechanischer Parameter • Testen der Empfindlichkeit bei einem Mikrospiegel [femtotools] [femtotools] TU Chemnitz, Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik