微纳加工技术智慧树知到答案章节测试2023年哈尔滨工业大学.docx
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绪论单元测试
微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（ ）量级。 A:纳米 B:微米 C:微米或纳米 答案:C
光刻工艺的基本要素主要包括（ ）。 A:光刻胶 B:对准系统 C:光源 答案:ABC
刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（ ）。 A:掩膜的抗刻蚀比 B:掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性 C:刻蚀的方向性 答案:B
间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（ ） A:对 B:错 答案:B
间接加工技术就是光刻加图形转移技术。（ ） A:对 B:错 答案:B
第一章测试
光学曝光的
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