氮化物紫外光电探测器制备及性能优化研究.pdf
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摘要
摘要
日盲紫外光是指波长为200~280nm的紫外光，目前日盲紫外探测技术已经在军
事、安防和环境监测等领域有重要的应用价值。然而，基于传统半导体材料的光电
探测器往往对这一波段光谱响应较弱，无法满足对其进行准确探测的需求。AlGaN
作为一种典型的第三代半导体材料，通过改变Al/Ga比例，带隙在3.4~6.26eV之间
连续可调，可以实现对紫外光的高效探测。同时AlGaN具有极高的电子迁移率、较
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