GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程.pdf

ICS29.045 H 80 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT13389 2014 代替 / — GBT13389 1992 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与 掺杂剂浓度换算规程 Practiceforconversionbetweenresistivitanddoantdensitforboron-doed, y p y p , hoshorus-doed andarsenic-doedsilicon p p p p 2014-12-31发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT13389 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》, 本标准代替 GBT13389 1992掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 参照 SEMI 《 》 / — 。 MF723-0307掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 对 GBT13389 1992进行修订 / — , : 本标准与GBT13389 1992相比 主要有以下变化 ——— ()、()、(), 、 增加了公式 5 6 7 即砷的掺杂剂浓度换算电阻率 掺硼硅单晶电阻率换算空穴浓度和 掺磷硅单晶电阻率换算电子浓度的公式以及相应的适用范围; ——— , 由于所有公式都是经验公式或是试验结果 因此本标准中给出了公式的试验依据以便于使用 者更好地了解和使用这些换算规程; ——— ( ); 增加干扰因素 见第 章 6 ———增加了附录和参考文献。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委