《液晶显示制造技术》课件——光刻质量控制点和关键参数.pptx
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光刻工序质量控制点和关键参数;;01;课程导入;02;光刻质量的好坏直接关系到LCD显示器件的显示效果和性能。如果光刻过程中出现误差，比如图形偏移、线条断裂、线宽不均等，这些缺陷将会直接反映到最终的显示器件上，导致显示效果不佳、色彩失真、亮度不均等问题。此外，光刻质量的问题还可能导致产品良率下降，增加生产成本和维修成本，降低产品的市场竞争力。;光刻质量要求如下：
刻蚀的图形完整，尺寸准确，边缘整齐，线条陡直；
图形内无小岛、针孔、毛刺等，刻蚀干净；
刻蚀的玻璃表面洁净无残留物及油渍等；
图形对位准确，各类标记完整。;03;前线搬送速度;;谢谢观看
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