《液晶显示制造技术》课件——光刻工序设备原理、设备一般故障分析.pptx

光刻工序设备原理、设备一般故障分析;;01;课程导入;02;在LCD产品的生产过程中，涂胶设备扮演着至关重要的角色。该设备需精准无误地将光刻胶均匀地涂覆于精密的玻璃ITO薄膜表面，这一过程直接关乎到后续光刻与刻蚀工艺的质量与效果。为了确保光刻胶膜层的厚度达到工艺要求的精确值，并维持其高度的稳定性，涂胶设备在设计、运行、控制及调整方面均融入了高度的技术含量。;（2）各胶辊之间的平行度控制

针对生产TN、STN产品的涂胶机，一般有三个胶辊实现涂胶作业。支撑辊要保证与搬送辊在一个平面上，使玻璃不致产生弯曲变形，支撑辊的高度一般来说是由设备制造厂确定的，是涂覆的“基点”，涂覆辊与调整辊的高度值都是通过这个“基点”来确定的。涂覆辊要调整到与支撑辊平行且确定辊子与之刚接触时的高度为“零点”；调整辊要调整到与涂覆辊平行且确定辊子两端与之??接触时的高度为“基准点”。;（3）滴胶的控制

滴胶机对滴胶量的控制要求很严，不允许有不均现象。对滴胶量的控制是由一台脉动泵实现的，可以对脉动频率、脉动量分布进行调整控制。滴液管路中配有一个0.1微米的过滤器，要及时检查，定期更换。;（4）涂胶机的运行安全

涂胶机各辊的工作面都是由优质橡胶经特殊工艺加工制成的，成本很高且极易损坏，任何微小的破损都有可能影响产品质量。因此，如何防止不正常损坏胶辊是设备运行首先要解决的问题，叠片、碎玻璃渣及其他异物硌伤、划伤都是造成损坏的原因。运行前要确认设备运行状态、安全措施是否齐全可靠。

叠片故障的处理。要求控制部分要有相应的功能，包括搬送速度“切换”、玻璃行走间隔的控制和判别、玻璃长度的识别、前段工序入口与出口（包括间隔、叠片、缺片）的识别，要实现以上功能，设备就要具备相应的硬件和软件配置，并调整好前后工序的运行速度。

玻璃渣的防止。在生产中，有时不能完全避免玻璃破损，但要及时清理干净。清洗设备中配有盘刷运行，一般杂物都可去除。清洗机出口配有多组上下风刀，也可起到去除杂物的作用，运行时要检查其工作是否正常。

防止其他异物进入。此类设备??般都配有防护盖板，当设备进入正常运转时，一定要将防护盖板关好。;03;在曝光机的工作中，光刻版（原版）和玻璃的定位是非常重要的环节。一台性能优良的曝光设备在对位方式和功能方面都非常考究，不但要求操作方便，还要重复性好，以保证工艺生产要求的精度。;鉴于UV灯的光照特性高度敏感，即便是制造过程中的微小差异也可能对光照的均匀性产生显著影响，进而影响最终产品的质量。因此，UV灯的安装结构设计得尤为巧妙，不仅确保了稳固的固定，还预留了充分的调整空间，允许操作人员在安装或维护时，能够轻松实现上下、左右、前后三个维度的精细调整。

调整的规律应按以下方法进行：

①将检测计放置在工作台中央，调整UV灯上下位置使其达到最大值后固定；

②将检测计放置四边不同位置，前后、左右调整UV灯水平方向至光强均匀后固定；

③重复①调整方法，直到符合均匀度要求为止。;;谢谢观看