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MT-3R离子注入机简介

离子注入机：一种可精确控制材料表面特性的表面处理设备，可对金属、陶瓷、塑

料等表面强化处理，提高产品表面硬度、耐磨性、耐腐蚀性能等。

特别适合镜面塑胶模具、精密塑胶模具和高速滚切刀模等工件表面的强化处理。

处理方法

对比项目电镀真空蒸发溅射镀膜化学气象沉积高能离子注入

金属、合金金属、合金

可加工材料金属金属、化合物化合物、陶瓷金属、化合物化合物、陶瓷

聚合物聚合物

膜层附着力一般差好很好无脱落影响

可能有气孔

膜层质量较脆可能不均匀致密，针孔少致密，针孔少极好

产生废液产生废气

环境影响废气需处理无无需处理无

处理温度（℃）低300300700-1100无限制

离子注入材料表面处理技术发展前景

前沿性离子注入技术是目前最高端的材料表面处理技术

将高能离子注入到金属材料表面，从而使材料表面的物理、

独特性

化学或机械性能发生变化，可形成其他表面处理方法不能达到的特

殊效果

能广泛应用于机械制造、航空航天、汽车医学等领域

广泛性

离子源种类

离子源参数

气体离子源

可以将气体电离,将其变为离子,通常用于产生:N+、O+、Ar+、H+等。我们的气体离子源有ECR离子源和考

夫曼离子源两种。ECR(电子回旋共振)离子源具有工作可靠、稳定性高、寿命长的优点,我公司研制了多种系列的

ECR离子源,均可连续稳定工作360小时以上。

微型ECR系列:主体直径120mm,高100mm。

常规系列:强流散焦宽束ECR离子源，引出束流强度可大于100mA，束斑在Φ200mm范围内不均匀度小于正负

8%。

考夫曼离子源：具有流速强度高，束流发散，比较容易获得大面积均匀束流的特点，它比较适合于材料表面处理；

考夫曼离子源成本相对较低，与ECR离子源相比，它有阴极，寿命短，一般不用它来产生腐蚀性气体离子。

金属离子源

可将固态金属和导电非金属材料变为离子，通常用于产生：Cr+、C+、Fe+、Ti+、Ni+、Au+等。我们采用

的金属离子源为MEVVA离子源，它具有离子纯度高，束流强度大，束流容易发散的特点，特别适合材料的表面

处理。

复合离子源：

可以同时产生金属离子和气体离子，能够在一个离子源上实现气体和金属两种离子的同时注入，特别适合于

同时需要注入气体离子和金属离子的多种类离子的复合表面改性。

潘宁离子源：具有体积小、束流较强，工作稳定可靠的特点。

设备样式

MT-3R各部分

1.离子源

2.分子泵

3.真空泵

4.真空腔