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高量子效率可见-短波红外宽光谱InGaAs探测器的关键技术与性能优化研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今科技飞速发展的时代，光探测技术作为信息获取的关键手段，在众多领域发挥着不可或缺的作用。随着应用需求的不断拓展，可见-短波红外宽光谱探测成为了研究的热点方向。这一波段范围涵盖了人眼可见的光谱区域以及短波红外区域，能够提供丰富的目标信息，满足不同场景下的探测需求。
从工业检测领域来看，在半导体制造过程中，需要对芯片表面的微观缺陷进行检测。可见-短波红外宽光谱探测能够利用不同波长光与芯片材料的相互作用差异，清晰地呈现出芯片表面的细微瑕疵，无论是可见光下的几何形状缺陷，还是短波
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