电子气体 六氟化钨 征求意见稿.docx
1
GB/T32386—XXXX
电子气体六氟化钨
1范围
本文件规定了电子用六氟化钨的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求，提供了六氟化钨的安全信息。
本文件适用于以氟与钨为原料提纯制得的电子用六氟化钨。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦
GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶
GB/T7144气瓶颜色标志
GB/T11640铝合金无缝气瓶
GB/T14193液化气体气瓶充装规定
GBl5258化学品安全标签编写规定
GB/T16804气瓶警示标签
GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法
GB/T33145大容积钢质无缝气瓶
GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
GB/T43306气体分析采样导则
GB/TXXXX电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法
TSG23气瓶安全技术规程
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
六氟化钨的技术要求应符合表1的规定。
GB/T32386—XXXX
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表1技术要求
项目名称
指标
一级
二级
三级
四级
六氟化钨（WF）纯度（摩尔分数）
≥99.9999×10
≥99.9995×10
≥99.999×10
≥99.9×10
四氟化碳(CF)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
10×10
(氧＋氩)(O+Ar)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
50×10
氮(N)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
1×10
50×10
一氧化碳(CO)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
—
二氧化碳(CO)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
—
六氟化硫(SF)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
10×10
四氟化硅(SiF)含量（摩尔分数）
0.1×10
0.5×10
0.5×10
10×10
氟化氢(HF)含量（摩尔分数）
0.3×10
1×10
3×10
800×10
杂质总含量（摩尔分数）
≤1×10
≤5×10
≤10×10
≤1000×10
金属元素含量
钼(Mo)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤10
—
铁(Fe)含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤15
—
钾(K)含量/(μg/L）
≤5
≤5
≤5
—
钠(Na)含量/(μg/L）
≤5
≤5
≤5
—
铬(Cr)含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
钍(Th)含量/(μg/L）
≤0.1
≤0.1
≤0.1
—
铀(U)含量/(μg/L）
≤0.05
≤0.05
≤0.05
—
钴(Co)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤10
—
锰(Mn)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
铅(Pb)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
锌(Zn)含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
钙(Ca)含量/(μg/L）
≤5
≤5
≤5
—
镁(Mg)含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
镍(Ni)含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
铜(Cu)含量/(μg/L）
≤1
≤3
≤5
—
铝（Al）含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
砷(As)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
硼(B)含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
镉(Cd)含量/(μg/L）
≤2
≤2
≤2
—
钛（Ti）含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
锂（Li）含量/(μg/L）
≤3
≤5
≤5
—
硅（Si）含量/(μg/L）
≤5
≤10
≤10
—
GB/T32386—XXXX
3
磷（P）含量/(μg/L）
≤2
≤2
≤2
—
5采样
六氟化钨的采样应符合GB/T43306的规定。
6试验方法
警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。
6.1六氟化钨纯度
6.1.1杂质总含量
杂质总含量按式(1)计算：
x9=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8………………(1)
式中