电子气体 锗烷 征求意见稿.pdf
GB/T31987—XXXX
电子气体锗烷
1范围
本文件规定了电子用锗烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要
求,提供了锗烷的安全信息。
本文件适用于以含锗化合物为原料提纯制得的电子用锗烷。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
锗烷的技术要求应符合表1的规定。
1
GB/T31987—XXXX
表1技术要求
项目要求
锗烷(GeH)纯度(摩尔分数)≥99.999×10-2
4
氢(H)含量(摩尔分数)2<50×10-6
(氧+氩)(O+Ar)含量含量(摩尔分数)<2×10-6
2
氮(N)含量(摩尔分数)2<2×10-6
一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)<1×10-6
二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)<1×10-6
2
甲烷(CH)含量(摩尔分数)<1×10-6
4
水分(HO)含量(摩尔分数)<3×10-6
2