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显微视觉下MEMS陀螺仪机械结构尺寸测量算法的研究与创新
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的时代，微型机电系统（MEMS）技术作为一种前沿技术，正深刻地改变着众多领域的发展格局。MEMS陀螺仪作为MEMS技术的重要应用之一，凭借其体积小、重量轻、功耗低、成本低且易于集成等显著优势，在航空航天、汽车电子、消费电子、工业控制等众多领域得到了广泛应用，成为推动各领域技术进步和创新的关键因素。
在航空航天领域，MEMS陀螺仪被用于飞行器的姿态控制和导航定位系统。例如，在卫星的姿态调整中，高精度的MEMS陀螺仪能够实时感知卫星的旋转角速度，为卫星姿态控制系统提供精确的数据
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