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谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统的创新与突破
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技发展进程中，传感器作为获取信息的关键部件，广泛应用于生产、科研和生活的各个领域。从工业生产中的自动化控制，到环境监测中的空气质量检测，再到生物医疗领域的疾病诊断，传感器都发挥着不可或缺的作用，成为推动各领域技术进步和创新发展的重要支撑。
微悬臂梁传感器作为一种高灵敏度、高分辨率的微机电系统（MEMS）传感器，近年来在化学、生物、物理等诸多领域展现出独特的应用潜力，备受关注。在化学领域，其可用于检测各种化学物质的浓度和成分，助力化学反应过程的监测与优化；在生物领域，能够实现对生物分子、细胞等的高灵敏检
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