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基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路设计与实现.docx

发布：2025-04-25约2.7万字共21页下载文档

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基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路设计与实现

一、引言

1.1研究背景与意义

在生命科学、医学诊断、食品安全监测以及环境检测等众多领域，对生化物质进行精准、快速且高灵敏度的检测始终是研究的关键方向。生化传感器作为实现这一目标的核心工具，其性能的优劣直接影响着检测的效果与应用的范围。MEMS谐振微悬臂梁生化传感器凭借自身诸多显著优势，在生化检测领域脱颖而出，成为研究热点之一。

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微电子机械系统）技术是一项融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学以及传感器技术等多学科的前沿技术。它能够将微结

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