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压电微悬臂梁传感器用于平行度检测的关键技术剖析与创新应用
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代工业生产中，平行度作为一项关键的几何精度指标，对产品的质量、性能以及生产过程的稳定性有着至关重要的影响。从精密机械制造到航空航天，从电子设备生产到光学仪器制造，诸多领域都对平行度检测提出了极高的要求。例如，在航空发动机的制造过程中，叶片与轮毂之间的平行度精度直接关系到发动机的效率和可靠性；在半导体芯片制造中，硅片与掩膜版之间的平行度偏差会导致光刻图案的失真，进而影响芯片的性能和良品率。因此，准确、高效地进行平行度检测是保证产品质量和生产效率的关键环节。
传统的平行度检测方法主要包括光学测量法、电子
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