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探索SiGeHBT性能增强路径:技术、机理与创新应用
一、引言
1.1研究背景与意义
在半导体技术不断演进的历程中,SiGeHBT(SiliconGermaniumHeterojunctionBipolarTransistor,硅锗异质结双极晶体管)凭借独特优势,在半导体领域占据了重要地位。随着信息技术呈指数级发展,各领域对半导体器件性能提出了前所未有的高要求,SiGeHBT也因此成为研究热点。
SiGeHBT的核心优势在于将硅(Si)和锗(Ge)的特性巧妙融合,突破了传统硅基器件的性能瓶颈。硅材料在半导体产业中应用广泛,具有成熟的工艺和良好的兼容性,但在高频、高速应用中
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