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半导体洁净间管理规范.pptx

发布:2025-05-05约小于1千字共33页下载文档
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演讲人:;目录;01;;空气洁净技术指标;洁净间环境监控与记录;人员培训;02;选型原则;设备安装调试及验收流程;日常维护保养计划及执行;故障诊断与排除方法;03;;;搬运工具与人员要求;废弃物处理及环保要求;04;人员进出洁净间程序;洁净服选择;个人卫生习惯培养;;05;定期清洁消毒计划安排;清洁剂和消毒剂选择依据;记录内容;微生物检测方法及标准;06;明确异常情况的范围和标准,如空气洁净度超标、设备故障、人员违规操作等。;应急处理措施和预案制定;风险评估与持续改进计划;审核监督程序建立;THANKS

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