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一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112797560 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011589200.7 A62C 31/03 (2006.01)
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