一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112797560 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011589200.7 A62C 31/03 (2006.01)
显示全部