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碳化硅半导体器件.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396481 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080012332.5 (74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限

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