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基于端点反射镜的微弯悬臂梁与PSD融合的微位移测量仪：原理、设计与应用
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科学技术的众多领域，微位移测量扮演着举足轻重的角色，其精度和可靠性直接关系到系统的性能与运行效果。在精密机械加工领域，超精密加工技术追求纳米级别的加工精度，这就要求对工件的位移进行精确测量与控制，以确保加工尺寸的准确性和表面质量的优良性。在半导体制造过程中，芯片制造工艺不断向更小尺寸迈进，光刻技术中对掩膜版与硅片之间的微位移控制精度要求极高，哪怕是极其微小的位移偏差，都可能导致芯片性能下降甚至报废，因此精准的微位移测量是保障半导体制造质量的关键环节。
在生物医学工程领域，微位移测量技
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