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2025年化合物半导体的外延生长设备项目建设方案.docx

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化合物半导体的外延生长设备项目建设方案

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化合物半导体的外延生长设备项目建设方案

TOC\h\z27474概论 3

6567一、环境和生态影响分析 3

31389(一)、环境和生态现状 3

4230(二)、生态环境影响分析 5

28255(三)、生态环境保护措施 6

22601(四)、地质灾害影响分析 8

10645(五)、特殊环境影响 9

31815二、资源开发及综合利用分析 10

5474(一)、资源开发方案 10

10155(二)、资源利用方案 11

25719(三)、资源节约措施 13

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