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2025年化合物半导体的外延生长设备项目发展计划.docx

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化合物半导体的外延生长设备项目发展计划

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化合物半导体的外延生长设备项目发展计划

TOC\h\z10085序言 3

3680一、工程设计说明 3

29038(一)、建筑工程设计原则 3

32178(二)、化合物半导体的外延生长设备项目工程建设标准规范 3

77(三)、化合物半导体的外延生长设备项目总平面设计要求 4

27450(四)、建筑设计规范和标准 4

22374(五)、土建工程设计年限及安全等级 4

15486(六)、建筑工程设计总体要求 4

16146二、后期运营与管理 5

21936(一)、化合物半导

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