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2025年化合物半导体的外延生长设备项目效益评估报告.docx

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项目效益评估报告/专业报告

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项目效益评估报告/专业报告

化合物半导体的外延生长设备项目效益评估报告

TOC\h\z1061概论 3

11391一、环保分析 3

25886(一)、建设期环境影响 3

14060(二)、营运期环境评价 5

23667(三)、环境管理与控制 7

12606(四)、环境改善与建议 8

24620二、工艺技术分析 10

4903(一)、企业技术研发分析 10

9171(二)、化合物半导体的外延生长设备项目技术工艺简要分析 11

31265(三)、质量管理体系

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