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8英寸碳化硅单晶pvt法.pptx

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8英寸碳化硅单晶pvt法;目录;01;碳化硅单晶概述;碳化硅单晶的应用领域;碳化硅单晶的发展历史;02;PVT法原理;PVT法在碳化硅单晶生长中的应用;PVT法的关键技术;03;设备组成;设备工作原理;设备性能指标;04;工艺流程概述;关键工艺步骤;工艺控制要点;05;生长过程概述;生长速率控制;生长质量分析;06;质量标准;质量检测方法;质量问题分析及解决;07;设备成本;材料成本;人工成本;08;市场前景;技术发展趋势;挑战与机遇;THANKS

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