《洁净室用净化单元自控系统》.docx

Q/LB.□XXXXX-XXXX

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ICS

FORMTEXT13.040.30

CCS

FORMTEXTCS

FORMTEXTC70

团体标准

T/FORMTEXTCSFORMTEXTXXXX—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT?????

FORMTEXT洁净室用净化单元自控系统

FORMTEXTAutomaticcontrolsystemofpurificationunitforcleanroom

FORMDROPDOWN

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FORMDROPDOWN

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT中国商品学会??发布

STYLEREF标准文件_文件编号T/CSXXXX—XXXX

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STYLEREF标准文件_文件编号T/CSXXXX—XXXX

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洁净室用净化单元自控系统

范围

本文件规定了洁净室用净化单元自控系统的缩略语、系统组成、功能要求、性能要求、安全要求、安装、调试与验收、运行与维护。

本文件适用于洁净室用净化单元自控系统。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T4208外壳防护等级(IP代码)

GB50052供配电系统设计规范(附条文说明)

术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

缩略语

下列缩略语适用于本文件。

PLC：可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicController）

DDC：直接数字控制器（DirectDigitalController）

HMI：人机界面（HumanMachineInterface）

系统组成

硬件

传感器

应根据洁净室环境参数监测需求，合理配置温度传感器、湿度传感器、压差传感器、尘埃粒子计数器、风量传感器等。

控制器

支持PLC或DDC控制，接收感知层数据，依据预设控制策略分析处理，输出控制指令，实现对空调机组、风机、阀门等设备自动控制。

执行机构

依据控制指令对洁净室的风量、温湿度等关键参数进行精准调节。包含变频风机、电动调节阀、加湿器、除湿机等设备。

人机界面（HMI）

提供可视化操作界面，实时显示数据与报警信息。

软件

控制软件?

应具备完善的控制算法，根据传感器检测到的环境参数，自动调节执行器的动作。?

监控软件?

应实时采集和显示洁净室环境参数、设备运行状态等信息；并具备报警功能，当洁净室环境参数超出预设范围或设备发生故障时，能够及时发出声光报警信号。

功能要求?

实时监控

自控系统应能实时采集和显示洁净室的环境参数，包括温度、湿度、压差、粒子浓度等，并能以直观的方式展示系统中各设备的运行状态。?

自动调节

自控系统应能根据设定的环境参数目标值自动调节净化单元中相关设备的运行状态，使洁净室环境参数保持在规定的范围内。

报警

当洁净室环境参数超出设定的允许范围或系统中设备出现故障时，自控系统应能及时发出报警信号。

数据存储与管理?

自控系统应能对采集到的环境参数和设备运行数据进行存储，存储时间应满足相关法规和用户的要求。

系统应具备数据查询、统计分析、报表生成等功能，以便用户对历史数据进行回顾和分析。?

远程控制

应能实现远程控制，用户可通过互联网或局域网，在授权的情况下，远程对净化单元进行启停控制、参数设置、设备状态查询等操作。?

性能要求?

控制精度?

温度控制精度?

温度控制精度应达到±0.5℃。?

湿度控制精度?

湿度控制精度应达到±3%RH。?

压差控制精度?

洁净室不同区域之间的压差控制精度应达到±10Pa。?

粒子浓度控制精度?

应控制粒子浓度在规定的范围内：≥0.5μm粒子浓度应不超过352000个/m3，≥5μm粒子浓度应不超过2930个/m3。?

响应时间?

当洁净室环境参数发生变化或系统接收到控制指令时，自控系统应能迅速做出响应。具体如下：

温度、湿度调节的响应时间≤15min；

压差调节的响应时间≤5min；

设备启停控制的响应时间≤1min。?

可靠性

通信

现场设备层与控制层之间、控制层与管理层之间的通信应稳定可靠。在通信中断或出现故障时，系统应能及时检测并采取相应的措施，如自动重连、报警等，确保系统的正常运行。?

数据存储

应采用可靠的数据存储