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铸锭多晶硅的工艺流程.docx

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铸锭多晶硅的工艺流程

铸锭多晶硅工艺和直拉单晶工艺都属于定向凝固过程,不过后者不需要籽晶。当硅料完全溶化后,缓慢下降坩埚,通过热交换台进展热量交换,使硅熔液形成垂直的,上高低低的温度梯度,保证垂直方向散热,此温度梯度会使硅在锅底产生很多自发晶核,自下而上的结晶,同时要求固液界面水平,这些自发晶核开头长大,由下而上地生长,直到整锅熔体结晶完毕,定向凝固就完成了,当全部的硅都固化之后,铸块再经过退火,冷却等步骤最终生产出高质量的铸锭。冷却到规定温度

后,开炉出锭。

铸锭多晶硅的优缺点

相对于直拉单晶来说,铸锭多晶硅有如下优点

1、备制造简洁,简洁实现全自动掌握。

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