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一种高光学透过率CVD多晶金刚石厚膜的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117535647A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311572193.3C30B28/14(2006.01)

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