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一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117425115A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311744856.5H04R9/02(2006.01)

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