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一种金刚石基氮化镓复合衬底的制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112981535 B (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202110421403.3 C23C 14/06 (2006.01)

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