半导体结构及半导体结构的形成方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823340 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202110128779.5 H01L 29/06 (2006.01)
(22)申请日 2021.01.
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