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一种三元有序光刻树脂和化学放大光刻胶及其制备、应用方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114805684 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110130429.2 (22)申请日 2021.01.29 (71)申请人 广州微纳光刻材料科技有限公司 地址
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