文档详情

一种厚膜光刻胶组合物，其制备方法及应用.pdf

发布：2023-05-07约3.5万字共41页下载文档

文本预览下载声明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563918 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202011360489.5 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人上海新阳半导体材料

显示全部

相似文档

一种193nm光刻胶成膜树脂及其制备方法和正型光刻胶组合物.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114874384 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210070846.7 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人南通林格橡塑制品有
2023-05-16 约1.04万字 11页立即下载
一种光刻胶树脂及其制备方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112794941 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011634104.X (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人宁波南大光电材料有限公司
2023-06-03 约8.73千字 8页立即下载
一种提高正型光刻胶厚膜分辨率的光刻方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859676 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210641171.7 (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人明士（北京）新材料开发有限公司地址
2023-05-18 约1.36万字 10页立即下载
一种三元有序光刻树脂和化学放大光刻胶及其制备、应用方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114805684 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110130429.2 (22)申请日 2021.01.29 (71)申请人广州微纳光刻材料科技有限公司地址
2023-05-15 约2.59万字 25页立即下载
硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112799280 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011643470.1 G03F 7/023 (2006.01)
2023-06-03 约2.01万字 15页立即下载
一种193nm湿法光刻胶用添加剂及其制备方法和应用.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116082609 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202111307595.1 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人上海芯刻微材料技术有限责任公司地
2023-05-07 约1.07万字 10页立即下载
一种含氟光刻胶酸敏树脂单体及其制备方法和应用.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113402495 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110688911.8 G03F 7/004 (2006.01) (22)申请日
2023-06-17 约8.04千字 8页立即下载
一种193nm湿法光刻胶用添加剂及其制备方法和应用.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116088269 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202111305914.5 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人上海芯刻微材料技术有限责任公司地
2023-05-07 约1.26万字 12页立即下载
一种由天然分子合成的光刻胶树脂单体及其制备方法和应用.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113354704 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110700755.2 (22)申请日 2021.06.24 (71)申请人徐州博康信
2023-06-21 约6.81千字 9页立即下载
一种光刻胶的去除方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114879455 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210419158.7 (22)申请日 2022.04.21 (71)申请人中国电子科技集团公司第十二研究
2023-05-16 约1.3万字 14页立即下载
一种光刻胶母模复制成型方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113334647 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110551179.X B01L 3/00 (2006.01) (22)申请日 20
2023-06-19 约8.78千字 10页立即下载
一种深孔图形光刻胶填充方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802765 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110068018.5 (22)申请日 2021.01.19 (71)申请人中国电子科技集团公司第五十五研
2023-06-07 约6.24千字 7页立即下载
一种光刻胶层的形貌检测方法及系统.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112925172 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110083384.8 H01L 21/66 (2006.01) (22)申请日 2021.01
2023-06-07 约8.87千字 8页立即下载
一种光刻胶及图案化方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113341650 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110707464.6 (51)Int.Cl.
2023-06-16 约1.37万字 16页立即下载
一种光刻胶及图案化方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341651 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110716154.0 G03F 7/00 (2006.01) (22)申请日 20
2023-06-19 约1.43万字 15页立即下载