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三维存储器件及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112968029 B (45)授权公告日 2022.06.03 (21)申请号 202110311888.0 H01L 27/11582 (2017.01)

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