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三维存储器及其制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992909 B (45)授权公告日 2021.12.17 (21)申请号 202110277280.0 H01L 27/11582 (2017.01) (22)申请

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