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三维存储器件及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883338 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210473867.3 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司 地址 4
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