干涉仪原理介绍.pptx

主要内容;2.1 相移干涉技术的原理;2.1 相移干涉技术的原理 续;;2.2 相移干涉技术的原理 －普通干涉仪 续;2.3 相移干涉技术的原理 －振动的影响;(2x,2y);;定向微偏振器阵列;3.2 4D 动态干涉仪原理 续－相位相关探测器;4.1.1 PhaseCam泰曼－格林系列;4.1.2 PhaseCam产品线;非共光路（倾斜光路）式：F1000F1500F1600 共光路（真正菲索）式：F2000 F3000;;4.2.1 非共光路斐索型FizCam1000s 续;共光路的特征： －干涉仪、参考镜、被测镜共轴 －参考光与样品光 在参考面后路径相同 ; 采用引入误差的非共光路菲索型 使用普通标准镜头会影响测量精度 光源相干性受环境影响而不稳定 变倍－调焦 联动 CCD可靠性值得怀疑 每次测量都要两次校准调整做计算 测量软件非常繁琐费解 + 技术支持不利 … …;;4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续;4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续;F2000 测量控制;F2000测量控制;光学均匀性精确测量;10/26/2019;F2000 的远程光腔测量;被测凸球面;;F2000-300 12”干涉仪;F2000-300;300TF 内应力;FizCam 2000 动态干涉仪 真正共光路的菲索型动态干涉仪 多元件、多表面的透过测量 远程空腔测量 均匀性测量 装夹应力测量 与扩束器结合构成大口径干涉仪;真正的共光路菲索干涉仪 He－Ne光源：稳定的相干长度 动态 ;;;F3000 参与干涉的光束;; 4D 产品 系列;10/26/2019;PhaseCam 6000 Configuration;Features - Specifications;Extended Precision Package for PhaseCam6000;PhaseCam 6000Extended Precision Package;Quantitative Improvement;Performance Improvement vs. Spatial Frequency; 6. 动态干涉仪的应用;重要项目中的应用;重要项目中的应用;重要项目中的应用;多次反射测量;离轴非球面的测量;超薄镜面的检测;长焦距离轴非球面的测量;长光程测量;长光程测量中的气流场;表面残差 PVq=89nm：去除zernike项后;口径0.8m，500次测量平均消除气流影响;气流的均化与抑止; 轻质复合镜：半径20m, 口径0.5m; 世界上最大的望远镜主镜 ;环境仓内的低温测试;超音速冲击波;强激光的热过程;重要项目中的应用;4D动态干涉仪 小结;谢 谢