用于在成形DC脉冲等离子体处理装置中的边缘环控制的电路.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112997270 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 201980073809.8 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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