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一种基于弯曲复合型压电驱动器的两自由度运动平台.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112994512 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202110149824.5 审查员 范劢超 (22)申请日 2021.02.03
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