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一种步进电机内嵌驱动式二自由度定位平台.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112809650 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110183588.9 (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人 天津大学 地址 30
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