一种步进电机内嵌驱动式二自由度定位平台.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112809650 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110183588.9
(22)申请日 2021.02.08
(71)申请人 天津大学
地址 30
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